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特气管路五项测试
发布者:admin 发布时间:2020-4-21 阅读:
气体管路的QC
气体管路的QC指的是要确保管路的外观及管内的各项测试都合乎客户要求的标准并确保我们的产品的品质达到一定的水准。
(1) 通常大多数半导体厂的设备对我们的工作内容都不了解,他们所关心的是管路是否歪斜?焊道是否标准?气体标签是否有贴等有关管路外观的问题。所以QC人员对于管路外观的检查就显得格外重要,纵是管路内部的分析再怎么确实,在客户眼里我们的品质一样是有瑕疵的,此也是我们应努力的方向之一,然大多数刚接触QC的同仁对于要检查哪些外观都显得有些不知所措,故在附件一概略列出检查的要项,盼对刚接触QC的人员有所帮助。
(2) 气体管路的五项测试:
气体管路的五项测试为QC最重要的一部分,内容概略可分为[测漏]及[管路内的分析],前者如没做好而造成危险气体泄漏,除了对公司的声誉造成影响外,更严重的是人的生命及安全都会受到威胁,而后者则是影响到wafer的良率,也是不可忽视的。以下就五项测试一一作介绍:
一、保压测试
二、氦测漏(He Leak Test)
三、Particle Analyzer (灰尘含量分析)
四、氧含量分析(OxygenAnalyzer):
五、水含量分析(MoistureAnalyzer)

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